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VGT-603FTA硅光模塊超聲波清洗機
發(fā)布時(shí)間:2023-09-20 11:43:53閱讀:(588)

硅光模塊是什么,簡(jiǎn)單的說(shuō),就是利用硅光子技術(shù)在硅芯片上集成了光電裝換和傳輸模塊。是在硅基平臺上將微電子和光電子結合起來(lái),構成新的硅光器件。


分解硅光模塊:


硅光是以光子和電子為信息載體的硅基電子大規模集成技術(shù)。


光模塊的核心組件之激光器芯片。光模塊是由多種光學(xué)器件封裝而成,其中內部組件中激光器芯片是比較關(guān)鍵的部分,占光模塊成本的60%,主要影響光模塊的傳輸距離。


目前100G光模塊已打開(kāi)了硅光技術(shù)的大門(mén),但其發(fā)展仍然面臨一些挑戰。


硅光子工藝流程:


多層刻蝕→P/N體注入→多晶硅耦合→P/N+型注入→金屬硅化物→鍺生長(cháng)→后段工藝→開(kāi)窗。


超聲波清洗機清洗芯片:


超聲波清洗機是一種通過(guò)超聲波來(lái)清洗物品的設備,他的工作原理是:


1、生產(chǎn)超聲波:超聲波清洗機會(huì )通過(guò)超聲波發(fā)生器生成超聲波,超聲波是一種高頻聲波,頻率在人類(lèi)聽(tīng)覺(jué)范圍之外。


2、傳遞超聲波:超聲波發(fā)生器會(huì )把生成的超聲波通過(guò)超聲波傳送裝置傳遞到清洗槽中。


3、刺激清洗液:超聲波在清洗液中傳播時(shí),會(huì )在液體中產(chǎn)生許多小的氣泡,這些氣泡會(huì )在一定周期內破裂,產(chǎn)生許多的小氣泡沖擊波。


4、清洗物品:小氣泡沖擊波會(huì )對物品產(chǎn)生沖擊和摩擦,從而幫助清除物品上殘留的雜質(zhì)。


威固特VGT-603FTA自動(dòng)智能式超聲波清洗機是半導體行業(yè)清洗產(chǎn)品的選擇之一:


清洗設備共有6個(gè)功能槽,配置有自動(dòng)恒溫系統、觸摸屏系統、拋動(dòng)系統、超聲波清洗系統、噴淋系統、溢流系統、自動(dòng)智能式機械手系統、上下料系統等。設備采用水幕式噴淋系統、純水漂洗,為環(huán)保型清洗機。

清洗流程是自動(dòng)上料→1回用純水超聲+噴淋漂洗(拋動(dòng))→2回用純水超聲(拋動(dòng))→3純水超聲(拋動(dòng))→4純水超聲(拋動(dòng))→5DI純水超聲(拋動(dòng))80K→6DI純水超聲(拋動(dòng))120K→手動(dòng)下料。


VGT-603FTA自動(dòng)智能式超聲波清洗機配的純水漂洗槽對芯片高要求的清洗,占有一定的優(yōu)勢。結構是每槽設四面溢流口,溢水槽寬35mm。各槽底部設排液閥,槽外設置拋動(dòng)。


VGT-603FTA自動(dòng)智能式超聲波清洗機噴淋系統能清洗到芯片的每個(gè)平面與角落:


1、在槽體的左右兩側、前后兩面及頂部各設置二把噴淋系統,噴淋系統直接作用于工件。


2、市水或其他水源由管路亦可直接進(jìn)入噴淋槽儲液箱(可轉換裝置)。


3、每把噴淋系統上安裝6個(gè)不銹鋼噴嘴。


4、噴淋系統由噴淋管和噴嘴組成。


5、噴淋為“水幕式”噴淋,效果更好、清洗更徹底。


6、配有儲液箱系統。


7、噴淋系統,第一槽配備,其他各槽無(wú)。


8、噴淋泵為“南方”不銹鋼水泵。


9、噴淋泵與噴淋管相連,噴淋泵工作時(shí)產(chǎn)生壓力作用于工件,形成完整的噴淋系統。


10、配置有液位安全控制系統,當液位低時(shí),噴淋泵不工作。


11、噴淋泵前裝有球閥,調節水量。


VGT-603FTA自動(dòng)智能式超聲波清洗機機械手機構:


1、工件提升及橫移機構,由自動(dòng)智能式機械手完成。


2、提升機構是由電機帶動(dòng)鏈條傳送實(shí)現工件的提升下降運動(dòng)。


3、橫移機構的電機采用“松下”伺服馬達,速度變頻可調。


4、為保證清洗工件及清洗液的潔凈,傳動(dòng)機構不位于洗凈工件的上部,可避免輸送時(shí)金屬磨耗粉、潤滑油等掉落。


5、后部傳動(dòng)機構與前部溶劑清洗區域用隔板分開(kāi),防止后部傳動(dòng)粉塵進(jìn)入前部。